Biz Isı Ustası! | 200 ~ 2200 ℃
 |
| Menşe yeri: | Çin |
| Marka adı: | Brother Furnace |
| Sertifika: | CE |
| Model numarası: | BR-PECVD |
| Min sipariş miktarı: | 1 Set |
|---|---|
| Fiyat: | Negotiation |
| Ambalaj bilgileri: | Küresel nakliye için güçlü ahşap kutu |
| Teslim süresi: | 7-21 iş günü |
| Ödeme koşulları: | L/c, T/T, Western Union |
| Yetenek temini: | Aylık 200 setleri |
| Maksimum Sıcaklık: | 1200 ℃ | Normal vakum: | -0,1MPa |
|---|---|---|---|
| Maksimum Vakum: | Yapılandırma moleküler pompa, Vakum 7x10-4 Pa (İsteğe bağlı) | flanş: | 304 paslanmaz çelik sızdırmazlık flanşı |
| Aşırı sıcaklık koruması: | sıcaklık izin verilen ayar değerini aştığında otomatik kapanma | Güvenlik koruması: | Fırın gövdesi sızdığında otomatik olarak kapanır |
| fırın yapısı: | çift katmanlı çelik çift soğutma fanı, yüzey sıcaklığı 50 ℃ altında | MAX ISITMA ORANI: | 20 ° C / dk. |
| Sıcaklık hassasiyeti: | ± 1 ℃ | Sıcaklık Düzgünlüğü: | ± 5 ℃ |
| Sıcaklık kontrolü: | 50 segment programlanabilir ve otomatik kontrol | Fırın tüpü: | QUARTZ TÜP |
| Uygulama: | PECVD | ||
| Vurgulamak: | döner tüp fırın,kuvars tüp fırın |
||
1200C Max. Maks. 1200C Maks. Lab PECVD Tube Furnace with Gas Delivery & Vacuum Pump Gaz Dağıtım ve Vakum Pompası ile Lab PECVD Tüp Fırını
Akıllı PECVD Giriş:
PECVD system is designed to decrease reaction temperature of traditional CVD. PECVD sistemi, geleneksel CVD'nin reaksiyon sıcaklığını azaltmak için tasarlanmıştır. It installed RF induction equipment in front of traditional CVD to ionize reacting gas, so plasma is generated. Reaksiyon gazını iyonize etmek için geleneksel CVD'nin önüne RF indüksiyon ekipmanı kurdu, böylece plazma üretildi. Plasma's high activity is Reaction is accelerated due to the high activity of plasma. Plazmanın yüksek aktivitesi Plazmanın yüksek aktivitesi nedeniyle reaksiyon hızlanır. So, this system is called PECVD. Yani bu sisteme PECVD denir.
This model is the newest product, it synthesized the advantages of most tube PECVD system, and added pre-heating zone in the front of PECVD system. Bu model en yeni üründür, çoğu tüp PECVD sisteminin avantajlarını sentezledi ve PECVD sisteminin önüne ön ısıtma bölgesi ekledi. Tests showed that the deposition speed is quicker, film quality is better, holes is less, and won't crack. Testler biriktirme hızının daha hızlı olduğunu, film kalitesinin daha iyi olduğunu, deliklerin daha az olduğunu ve çatlamayacağını gösterdi. AISO fully automatic intelligent control system is independently designed by our company, it is more convenient to operate and its function is more powerful. AISO tam otomatik akıllı kontrol sistemi firmamız tarafından bağımsız olarak tasarlanmıştır, kullanımı daha uygundur ve işlevi daha güçlüdür.
Geniş uygulama aralığı: metal film, seramik film, kompozit film, çeşitli filmlerin sürekli büyümesi.
Ana özellik:
Standart Yedekler:
Opsiyonel Yedekler:
1200 ℃ PECVD Tüp Fırın Standart şartname:
| 1. Isıtma Sistemi | ||
| Max.temperature | 1200 ℃ (1 saat) | |
| Çalışma sıcaklığı | ≤1100 ℃ | |
| Oda büyüklüğü | Φ100 * 1650mm (Tüp çapı özelleştirilebilir) | |
| Oda malzemesi | Yüksek saflıkta alümina elyaf levha | |
| ısıl çift | K tipi | |
| Temperatureaccuracy | ± 1 ℃ | |
| Sıcaklık kontrolü |
● Isıtma hızı, soğutma hızı ve bekleme süresinin hassas kontrolü için 50 programlanabilir segment. ● Dahili aşırı ısınma ve kırık termokupl kırık koruması ile PID Otomatik Ayarlama fonksiyonu. ● İçindeki PC kontrolörlü PLC otomatik kontrol sistemi. ● Sıcaklık kontrol sistemi, sürme sistemi (Zaman ve Mesafe) program ile kontrol edilebilir. |
|
| Isıtma uzunluğu | 440mm | |
| Sabit ısıtma uzunluğu | 200mm | |
| Isıtma elemanı | Direnç teli | |
| Güç kaynağı | Tek fazlı, 220V, 50Hz | |
| Anma gücü | 9kW | |
| 2. RF Plazma Kaynağı | ||
| RF frekansı | 13.56 MHz ±% 0.005 | |
| Çıkış gücü | 500W | |
| Maksimum yansıma gücü | 500W | |
| RF çıkış arayüzü | 50 Ω, N tipi, dişi | |
| Güç kararlılığı | ±% 0.1 | |
| Harmonik bileşen | ≤-50dbc | |
| Besleme gerilimi / Frekansı | Tek fazlı AC220V 50 / 60HZ | |
| Tüm verimlilik | > =% 70 | |
| Güç faktörü | > 90% | |
| Soğutma yöntemi | Basincli hava | |
| 3. Üç hassas kütle debimetreler kontrol sistemi | ||
| Dış boyut | 600x600x650mm | |
| Konektör tipi | Swagelok SS bağlantısı | |
| Standart aralık (N2) | 0 ~ 100sccm, 0 ~ 200sccm veya özelleştirilebilir | |
| doğruluk | ±% 1.5 | |
| Doğrusal | ± 0.5 °, 1.5% | |
| Tekrarlanabilirlik | ±% 0.2 | |
| Tepki Süresi |
Gaz özelliği: 1 ～ 4 sn; |
|
| Basınç aralığı | 0.1 ～ 0.5 MPa | |
| Maksimum basınç | 3mpa | |
| Arayüz | Φ6,1 / 4 ' | |
| Görüntüle | 4 haneli ekran | |
| Ortam sıcaklığı | 5 ~ 45 yüksek saflıkta gaz | |
| Basınç ölçer | .10,1 ～ 0,15 MPa, 0,01 MPa / birim | |
| Kesme vanası | Φ6 | |
| Polonyalı SS tüp | Φ6 | |
| Düşük vakum sistemi dahil | ||
Neden Brother'ın 1200 ℃ Lab PECVD Tüp Fırını?
30'dan fazla ülkeden müşteriler bizi seçiyor
En iyi hizmeti, hızlı tepki
Eğer ilgileniyorsanız 1200C Max. Maks. 1200C Maks. Lab PECVD Tube Furnace with Gas Delivery & Vacuum Pump Gaz Dağıtım ve Vakum Pompası ile Lab PECVD Tüp Fırınıe, bir teklif almak için şimdi bize ulaşın!
İlgili kişi: li
Tel: +8613526693072
