Tel:
Zhengzhou Brother Furnace Co.,Ltd
Zhengzhou Brother Furnace Co.,Ltd

     Biz Isı Ustası! | 200 ~ 2200

Ana sayfa ÜrünlerLaboratuvar Borulu Fırın

Kuvars Boru ile Çelik Yüksek Sıcaklık Laboratuvar Fırını PECVD Bölünmüş Tüp Fırın

Kuvars Boru ile Çelik Yüksek Sıcaklık Laboratuvar Fırını PECVD Bölünmüş Tüp Fırın

  • Kuvars Boru ile Çelik Yüksek Sıcaklık Laboratuvar Fırını PECVD Bölünmüş Tüp Fırın
Kuvars Boru ile Çelik Yüksek Sıcaklık Laboratuvar Fırını PECVD Bölünmüş Tüp Fırın
Ürün ayrıntıları:
Menşe yeri: Çin
Marka adı: Brother Furnace
Sertifika: CE
Model numarası: BR-PECVD
Ödeme & teslimat koşulları:
Min sipariş miktarı: 1 Set
Fiyat: Negotiation
Ambalaj bilgileri: Küresel nakliye için güçlü ahşap kutu
Teslim süresi: 7-21 iş günü
Ödeme koşulları: L/c, T/T, Western Union
Yetenek temini: Aylık 200 setleri
İletişim
Detaylı ürün tanımı
Maksimum Sıcaklık: 1200 ℃ Normal vakum: -0,1MPa
Maksimum Vakum: Yapılandırma moleküler pompa, Vakum 7x10-4 Pa (İsteğe bağlı) flanş: 304 paslanmaz çelik sızdırmazlık flanşı
Aşırı sıcaklık koruması: sıcaklık izin verilen ayar değerini aştığında otomatik kapanma Güvenlik koruması: Fırın gövdesi sızdığında otomatik olarak kapanır
fırın yapısı: çift ​​katmanlı çelik çift soğutma fanı, yüzey sıcaklığı 50 ℃ altında MAX ISITMA ORANI: 20 ° C / dk.
Sıcaklık hassasiyeti: ± 1 ℃ Sıcaklık Düzgünlüğü: ± 5 ℃
Sıcaklık kontrolü: 50 segment programlanabilir ve otomatik kontrol Fırın tüpü: QUARTZ TÜP
Uygulama: Kuvars tüplü Lab PECVD bölünmüş tüp fırın
Vurgulamak:

döner tüp fırın

,

kuvars tüp fırın

Kuvars Tüp ile Yüksek Sıcaklık Lab PECVD split tüp fırın

Akıllı PECVD Giriş:
PECVD sistemi, geleneksel CVD'nin reaksiyon sıcaklığını azaltmak için tasarlanmıştır. Reaksiyona giren gazı iyonize etmek için geleneksel CVD'nin önüne RF endüksiyon ekipmanı kurdu, böylece plazma üretildi. Plazmanın yüksek aktivitesi Plazmanın yüksek aktivitesinden dolayı reaksiyon hızlanır. Yani, bu sistem PECVD denir.
Bu model en yeni üründür, çoğu tüp PECVD sisteminin avantajlarını sentezledi ve PECVD sisteminin önüne bir ön ısıtma bölgesi ekledi. Testler, biriktirme hızının daha hızlı olduğunu, film kalitesinin daha iyi olduğunu, deliklerin daha az olduğunu ve çatlamayacağını göstermiştir. AISO tam otomatik akıllı kontrol sistemi firmamız tarafından bağımsız olarak tasarlanmıştır, kullanımı daha kolaydır ve işlevi daha güçlüdür.
Geniş uygulama alanı: metal film, seramik film, kompozit film, çeşitli filmlerin sürekli büyümesi. Fonksiyonu artırmak kolaydır, plazma temizleme asitliğini ve diğer fonksiyonları genişletebilir


Ana özellik:

  • Yüksek film biriktirme oranı: RF parıltı teknolojisi, filmin biriktirme oranını büyük ölçüde artırarak, biriktirme oranı 10Å / S'ye ulaşabilir
  • Yüksek alan düzgünlüğü: Gelişmiş çok noktalı RF besleme teknolojisi, özel gaz yolu dağılımı ve ısıtma teknolojisi, vb.
  • Yüksek tutarlılık: yarı iletken endüstrisinin gelişmiş tasarım konseptini kullanarak, bir biriktirmenin alt tabakaları arasındaki sapma% 2'den azdır.
  • Yüksek işlem kararlılığı: Yüksek stabilite sağlayan ekipman sürekli ve istikrarlı bir işlem sağlar




Standart Yedekler:

  • Tıkaç tüpü 4 adet
  • Fırın borusu 1 adet
  • Vakum pompası 1 adet
  • Vakum sızdırmazlık flanşı 2 takım
  • Vakum ölçer 1 adet
  • Gaz dağıtım ve vakum pompası
  • Rf plazma ekipmanları


İsteğe bağlı yedek parça:

  • Çabuk açılan flanş, Üç yollu flanş
  • 7 inç HD dokunmatik kayşat




Lab PECVD Bölünmüş Borulu Fırın Standart şartname:

1. Isıtma Sistemi
Max.temperature 1200 ℃ (1 saat)
Çalışma sıcaklığı ≤1100 ℃
Oda boyutu Φ100 * 1650mm (Tüp çapı özelleştirilebilir)
Odası malzeme Yüksek saflıkta alümina elyaf levha
ısıl çift K tipi
Temperatureaccuracy ± 1 ℃
Sıcaklık kontrolü

● Isıtma hızı, soğutma hızı ve bekleme süresinin hassas kontrolü için 50 programlanabilir bölüm.

● Dahili PID Auto-Tune işlevi, aşırı ısınma ve kırılmış termokupl kırılma koruması ile birlikte.

● PC denetleyicisi tarafından içindeki PLC otomatik kontrol sistemi.

● Sıcaklık kontrol sistemi, sürgü sistemi (Zaman ve Mesafe) program tarafından kontrol edilebilir.

Isıtma uzunluğu 440mm
Sabit ısıtma uzunluğu 200mm
Isıtma elemanı Direnç teli
Güç kaynağı Tek faz, 220V, 50Hz
Anma gücü 9kW
2. RF Plazma Kaynağı
RF frekansı 13.56 MHz ±% 0.005
Çıkış gücü 500W
Max gücü yansıtır 500W
RF çıkış arayüzü 50 Ω, N tipi, kadın
Güç kararlılığı ±% 0.1
Harmonik bileşen ≤-50dbc
Besleme gerilimi / Frekans Tek fazlı AC220V 50 / 60HZ
Tüm verimlilik > =% 70
Güç faktörü > 90%
Soğutma yöntemi Basincli hava
3. Üç hassas kütle debimetreler kontrol sistemi
Dış boyut 600x600x650mm
Bağlayıcı tipi Swagelok SS eklemi
Standart aralık (N 2) 0 ~ 100sccm, 0 ~ 200sccm veya özelleştirilebilir
doğruluk ±% 1.5
Doğrusal ± 0.5 °, 1.5%
Tekrarlanabilirlik ±% 0.2
Tepki Süresi

Gaz özelliği: 1 ~ 4 sn;
Elektrik mülkiyet: 10 sn

Basınç aralığı 0,1 ~ 0,5 MPa
Maksimum basınç 3mpa
arayüzey Φ6,1 / 4 '
Görüntüle 4 basamaklı ekran
Ortam sıcaklığı 5 ~ 45 yüksek saflıkta gaz
Basınç ölçer -0,1 ~ 0,15 MPa, 0,01 MPa / birim
Stop vanası Φ6
Lehçe ss tüp Φ6
Düşük vakum sistemi dahil


Neden Brother's Lab PECVD Bölünmüş Borulu Fırın?

  • 10+ yıllık tecrübeye sahip üretici
  • En iyi kalite
  • Özelleştirilmiş tasarım
  • Deneyimli işçiler
  • Büyük fabrika


30'dan fazla ülkeden gelen müşteriler bizi seçiyor

  • Memnun kalan müşteriler , mükemmel tasarım, kalite ve maliyet verimliliği konusundaki kararlılığınızın kanıtını sunar .


En iyi hizmeti, hızlı tepki

  • Özel fırın için ücretsiz tasarım
  • Ömür boyu ücretsiz teknik destek
  • Ücretsiz örnek testi


Yüksek Sıcaklık Laboratuvarı PECVD'nin kuvars tüplü split tüp fırınımızla ilgileniyorsanız, teklif almak için şimdi bizimle iletişime geçin!

İletişim bilgileri
Zhengzhou Brother Furnace Co.,Ltd

İlgili kişi: li

Tel: +8613526693072

Sorgunuzu doğrudan bize gönderin
Diğer ürünler
Zhengzhou Brother Furnace Co.,Ltd
Bina 10, Henan Ulusal Üniversitesi Bilim ve Teknoloji Parkı, Zhengzhou, Çin.
Tel:86-371-67973830
Mobile Site Privacy Policy Çin iyi kalite Laboratuar Fırını Fırını Tedarikçi. © 2019 - 2021 muffle-furnace.com. All Rights Reserved.