Menşe yeri: | Çin |
Marka adı: | Brother Furnace |
Sertifika: | CE |
Model numarası: | BR-PECVD |
Min sipariş miktarı: | 1 Set |
---|---|
Fiyat: | Negotiation |
Ambalaj bilgileri: | Küresel nakliye için güçlü ahşap kutu |
Teslim süresi: | 7-21 iş günü |
Ödeme koşulları: | L/c, T/T, Western Union |
Yetenek temini: | Aylık 200 setleri |
Maksimum Sıcaklık: | 1200 ℃ | Normal vakum: | -0,1MPa |
---|---|---|---|
Maksimum Vakum: | Yapılandırma moleküler pompa, Vakum 7x10-4 Pa (İsteğe bağlı) | flanş: | 304 paslanmaz çelik sızdırmazlık flanşı |
Aşırı sıcaklık koruması: | sıcaklık izin verilen ayar değerini aştığında otomatik kapanma | Güvenlik koruması: | Fırın gövdesi sızdığında otomatik olarak kapanır |
fırın yapısı: | çift katmanlı çelik çift soğutma fanı, yüzey sıcaklığı 50 ℃ altında | MAX ISITMA ORANI: | 20 ° C / dk. |
Sıcaklık hassasiyeti: | ± 1 ℃ | Sıcaklık Düzgünlüğü: | ± 5 ℃ |
Sıcaklık kontrolü: | 50 segment programlanabilir ve otomatik kontrol | Fırın tüpü: | QUARTZ TÜP |
Uygulama: | Kuvars tüplü Lab PECVD bölünmüş tüp fırın | ||
Vurgulamak: | döner tüp fırın,kuvars tüp fırın |
Standart Yedekler:
İsteğe bağlı yedek parça:
Lab PECVD Bölünmüş Borulu Fırın Standart şartname:
1. Isıtma Sistemi | ||
Max.temperature | 1200 ℃ (1 saat) | |
Çalışma sıcaklığı | ≤1100 ℃ | |
Oda boyutu | Φ100 * 1650mm (Tüp çapı özelleştirilebilir) | |
Odası malzeme | Yüksek saflıkta alümina elyaf levha | |
ısıl çift | K tipi | |
Temperatureaccuracy | ± 1 ℃ | |
Sıcaklık kontrolü | ● Isıtma hızı, soğutma hızı ve bekleme süresinin hassas kontrolü için 50 programlanabilir bölüm. ● Dahili PID Auto-Tune işlevi, aşırı ısınma ve kırılmış termokupl kırılma koruması ile birlikte. ● PC denetleyicisi tarafından içindeki PLC otomatik kontrol sistemi. ● Sıcaklık kontrol sistemi, sürgü sistemi (Zaman ve Mesafe) program tarafından kontrol edilebilir. | |
Isıtma uzunluğu | 440mm | |
Sabit ısıtma uzunluğu | 200mm | |
Isıtma elemanı | Direnç teli | |
Güç kaynağı | Tek faz, 220V, 50Hz | |
Anma gücü | 9kW | |
2. RF Plazma Kaynağı | ||
RF frekansı | 13.56 MHz ±% 0.005 | |
Çıkış gücü | 500W | |
Max gücü yansıtır | 500W | |
RF çıkış arayüzü | 50 Ω, N tipi, kadın | |
Güç kararlılığı | ±% 0.1 | |
Harmonik bileşen | ≤-50dbc | |
Besleme gerilimi / Frekans | Tek fazlı AC220V 50 / 60HZ | |
Tüm verimlilik | > =% 70 | |
Güç faktörü | > 90% | |
Soğutma yöntemi | Basincli hava | |
3. Üç hassas kütle debimetreler kontrol sistemi | ||
Dış boyut | 600x600x650mm | |
Bağlayıcı tipi | Swagelok SS eklemi | |
Standart aralık (N 2) | 0 ~ 100sccm, 0 ~ 200sccm veya özelleştirilebilir | |
doğruluk | ±% 1.5 | |
Doğrusal | ± 0.5 °, 1.5% | |
Tekrarlanabilirlik | ±% 0.2 | |
Tepki Süresi | Gaz özelliği: 1 ~ 4 sn; | |
Basınç aralığı | 0,1 ~ 0,5 MPa | |
Maksimum basınç | 3mpa | |
arayüzey | Φ6,1 / 4 ' | |
Görüntüle | 4 basamaklı ekran | |
Ortam sıcaklığı | 5 ~ 45 yüksek saflıkta gaz | |
Basınç ölçer | -0,1 ~ 0,15 MPa, 0,01 MPa / birim | |
Stop vanası | Φ6 | |
Lehçe ss tüp | Φ6 | |
Düşük vakum sistemi dahil |
Neden Brother's Lab PECVD Bölünmüş Borulu Fırın?
30'dan fazla ülkeden gelen müşteriler bizi seçiyor
En iyi hizmeti, hızlı tepki
Yüksek Sıcaklık Laboratuvarı PECVD'nin kuvars tüplü split tüp fırınımızla ilgileniyorsanız, teklif almak için şimdi bizimle iletişime geçin!
İlgili kişi: li
Tel: +8613526693072